연구개발사업

FINE-TECH의 주요 사업분야입니다.

Powder Collection System

반도체, 디스플레이 공정에서 발생하는 입자상 물질,
수분 등의 제거를 목적으로 하는 시스템.

Model PCS-500 PCS-1500 PCS-15000
Capacity(L/min) 1,000 이하 1,000 ~ 2,000 13,000 ~ 17,000
Test Material SiO2, Particle Etc.(0.4~200㎛)
Target gas SiH4 외 Process gases
Temperature(℃) 20 ~ 100 ℃
Energy consumption N.A.(무동력 시스템)
Port size 유입 : 80A
유출 : 50A
유입 : 80A
유출 : 80A
유입 : 100A
유출 : 100A
Collection Efficiency(%) 95% 이상
Dimension(mm) 905(W) X 650(D) X 1,650(H) 905(W) X 650(D) X 1,984(H) 1,600(W) X 1,000(D) X 2,800(H)